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半導體行業再傳捷報,同方瑞風攜手格羅方德

關注:97發表時間:2018-01-02 00:00:00

    近日,同方瑞風成功簽下格芯(成都)集成電路制造有限公司(以下簡稱“成都格芯”)一期項目干盤管(DCC)采購訂單,合同金額超過千萬元。

    成都格芯是格羅方德(GLOBALFOUNDRIES)在全球投資規模最大、技術水平最先進的12英寸晶圓片生產基地,建成后將成為格羅方德目前在德國、美國及新加坡之外的第四個生產中心,也是中國西南地區的首個12英寸晶圓生產基地,項目累計投資超過100億美元。成都格芯一期設計產能月產兩萬片,預計2018年底投產;二期采用格羅方德最新的22納米FDSOI工藝技術,設計月產能六萬五千片,預計2019年第四季度投產。一期建設主流CMOS工藝12英寸晶圓生產線,預計2018年底投產;主要為0.13微米、0.18微米,從新加坡轉移至成都,產能2萬片/月。

    格羅方德(GLOBALFOUNDRIES),總部位于美國加州,是全球第二大晶圓代工廠。公司運營著14~28納米節點的先進工藝,32至180納米節點的成熟主流工藝,以及射頻特種工藝,并正在研發5納米/7納米工藝。格羅方德公司凝聚了來自AMD,特許半導體和IBM的半導體工藝研發、制造和產品開發的頂尖技術專家和工程師團隊,繼承了三家公司在過去30年中積累的工藝技術。豐富的專利儲備在全球純晶圓代工企業中排名第一。



        晶圓生產必須在潔凈環境下進行,成都格芯項目將打造6.5萬平方米的晶圓生產潔凈室,其潔凈等級為100級,比一般醫院的手術室還要潔凈百倍。手術室的面積只有幾十平方米,晶圓廠房則要保證6.5萬平方米的空間都保持100的潔凈度,局部房間甚至要達到1級標準。1級標準是什么概念?即每立方英尺的空氣中0.5微米或稍大些的微塵數量不超過1個。可以參照對比的是,人的頭發絲直徑為80微米,即在每立方英尺的空氣中相當于1/ 160根頭發絲粗細的微塵數量不超過1個。

        目前半導體行業的潔凈室空調系統通常常用“MAU+FFU+DCC”系統,MAU主要控制室內的濕度和保證室內的正壓,FFU通過空氣循環過濾保證環境潔凈度,而DCC主要是來除去室內顯熱從而保證室內溫度。干盤管作為半導體生產環境的重要保障設備,對產品性能和品質具有嚴苛的要求。同方瑞風憑借多年來在干盤管設計、制造方面的經驗,深得半導體及電子行業用戶信賴,本項目也將成為同方瑞風干盤管產品在半導體行業的經典應用案例。


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